세 션 : 반도체안전
제 목 : ZrO2 ALD 공정에서 스크러버를 이용한 분진 부산물 처리효율 평가
발표자 : 아주대학교 박사과정 이광호
이메일 : dufwjdgk@naver.com
발표자료 : https://youtu.be/tc_cTtOPSaY
문의사항이 있을 경우 이메일로 연락 부탁드립니다.
세 션 : 반도체안전
제 목 : ZrO2 ALD 공정에서 스크러버를 이용한 분진 부산물 처리효율 평가
발표자 : 아주대학교 박사과정 이광호
이메일 : dufwjdgk@naver.com
발표자료 : https://youtu.be/tc_cTtOPSaY
문의사항이 있을 경우 이메일로 연락 부탁드립니다.